Yarıiletken Fiziği Araştırma Laboratuvarının kurulması 1977 yılında Prof. Dr. Rauf Nasuhoğlu’nun teşvikleri doğrultusunda Dr. Necmi Serin tarafından başlatılmıştır. İlk olarak ince metal filmlerin hazırlandığı ve 10-6 Torr vakuma düşebilen bir “Vacuum Coating” sistemi kurulmuştur. Daha sonra, elle kontrol edilen (manual) “Empedance Bridge”, “Capacitance Bridge” ve “Elektrometre” satın alınmıştır. Bakır (Cu) alttabaka üzerinde Bakır(I) Oksit (Cu2O) ve Bakır (II) Oksit (CuO) kristalleri büyütülmüştür. Au/Cu2O/Cu, Au/CuO/Cu, Au/CuO/Cu2O/Cu metal/oksit/metal yapıları hazırlanmıştır. Bu yapıların Kapasite-Gerilim-Frekans-Sıcaklık-Nem ve Akım-Gerilim-Sıcaklık-Nem karakteristikleri ölçülmüş ve yapıların elektriksel iletkenlikleri araştırılmıştır. Araştırma sonuçları doçentlik tezi (1981), ulusal (1984) ve uluslararası makaleler (2000) olarak yayınlanmıştır.
1993 yılında amorf silisyum ince filmleri büyütmek amacıyla eski bir X-ışınları cihazından yararlanılmış ve bazı parçalar ve cihazlar da satın alınarak “D.C. Magnetron Sputtering” cihazı kurulmuştur. Yine Kalay Oksit (SnO2) ve Çinko Oksit (ZnO) püskürtme sistemi kurulmuştur. Ankara Üniversitesi Araştırma Fonu projesinden Monokromatör ve optik filtre setleri satın alınmıştır. Bununla ilgili çalışmalar yüksek lisans tezi olarak yayınlanmıştır.
1993 yılında hurdalıktan bulunan bir vakum cihazı getirilerek çalışır duruma getirilmiştir. 1994 yılında bilgisayar kontrollü “Empedance Analyzer”, 1998 yılında 10-8 Torr’a inebilen bir “Vacuum Coating” cihazı temin edilmiş, ampermetre ve akım/güç kaynağı, elektrometre, arabirim (interface) kartları satın alınmış ve bir TÜBİTAK desteğiyle bilgisayar kontrollü ölçü düzeneği kurulmuştur.